德國PI高動態(tài)性線性平臺V-522 

PIMag®音圈

音圈驅(qū)動器由兩個基本零件組成：永磁體和線圈，線圈位于磁場的氣隙中。當(dāng)電流流過線圈時，線圈在永磁體的磁場中移動。運(yùn)動方向取決于極性。音圈驅(qū)動器具有低重量并且基于無摩擦驅(qū)動原理，因此特別適合在有限行程內(nèi)要求高動態(tài)性和高速度的應(yīng)用。這類驅(qū)動器還可提供高掃描頻率和精密定位，因為它們不存在磁滯效應(yīng)。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。滾動主體架的受迫導(dǎo)向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以*的精度直接在運(yùn)動平臺上測量實(shí)際位置，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)和科研。計量、光子學(xué)以及半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的精密掃描

訂購信息

V-522.1AA PIMag® 音圈- 線性平臺，直接驅(qū)動，速度250毫米/秒，采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量，5毫米行程，運(yùn)動方向上的電纜出口

V-522.1AB PIMag® 音圈- 線性平臺，直接驅(qū)動，速度250毫米/秒，采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量，5毫米行程，正交于運(yùn)動方向的電纜出 口

德國PI高動態(tài)性線性平臺V-522